供应多功能陶瓷镀膜机备

【东莞市汇成真空科技有限公司】多功能离子镀膜设备：

该系列设备主要是（集）直流磁控溅射，中频溅射和电弧电子蒸发三种技术融合一体，结合线性离化脉冲偏压可使沉积颗料细化，膜层各项性能提高，能在金属制品及非金属表面镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。经公司技术人员多年专注研发，通过特有的阴极电弧离子和非平衡磁控系统，并开发出整套propower系列计算机自动控制系统，使镀膜膜层附着力致密度、从复度一致性好等特点，解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色不一致等问题。广泛适用于手表、手机壳、五金、洁具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。镀制tin、ticn、crn、tialn、ticrn、zrn、tinc及各类金属石膜（dlc）。

1、磁控溅射的原理是基于阴极辉光放电理论，把阴极表面磁场扩展到接近工件表面，提高了溅射原子离化率。既保留磁控溅射的细腻又增强了表面光泽度。

2、电弧等离子体蒸发源性能可靠，在优化阴极及磁场结构镀膜时可在30a电流下工作，镀膜膜层和基底界面产生原子扩散，又具有离子束辅助沉积的特点。

型号真空室尺寸jtz-800jtl-1000jtl-1250

￠800×1000mm￠1000×1000mm￠1250×1100mm

镀膜方式及主要配置六个多弧源+一套圆柱靶+一套平面矩形磁控溅射靶八个多弧源+一对孪生（中频）磁控溅射靶+一套平面矩形磁控溅射靶十二个多弧源+一对孪生（中频）磁控溅射靶+两套平面矩形磁控溅射靶

镀膜方式及主要配置电弧电源、直流磁控电源、中频磁控电源、灯丝电源、脉冲电源、线性离化源

工艺气体控制质量流量计+电磁陶瓷阀

真空室结构立式侧（单）开门结构，后置抽气系统，双层水冷

真空系统组成分子泵+罗茨泵+机械泵0×10-4pa）

工件烘烤温度常温到500度可调可控(pid控温),辐射加热

工件运动方式公自转变频调速,0~20转/分

测量方式数显复合真空计:测量范围从大气至0×10-5pa