SiC加热芯棒的精制方法

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本方法涉及通过表面精制来提高SiC加热芯棒质量的方法。本方法的目的是提供一种精制SiC加热芯棒的寿命。本方法的特征在于，在基本上稳定的温度下，在一段长的时间内，通过无机酸或无机混合酸进行SiC加热芯棒的酸性处理接着在升温下用盐酸处理SiC加热芯棒，随后用水洗涤，并干燥使用由主要组分是Si(OC2H5)4的硅氧烷化合物和氧化保护剂组成的溶胶溶液多次浸渍SiC加热芯棒，并干燥，直至不再吸收溶胶溶液，其中硅氧烷化合物由Si(OC2H5)4-H2O-C2H5OH-HCL体系组成，氧化保护剂由通过Si(OC2H5)4水解制备和SiO2以及Al2O3和/或ZrO2组成，在溶胶溶液转化为无定形凝胶状态之后，在高于1000℃的温度下，短时地热处理SiC加热芯棒。

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