何为化学气相沉积（CVD）？

（4）等离子体CVD

（5）真空CVD，等。

应用流动层的CVD如图3所示，可以形成被覆粒子（例如，在UO2表面被覆SiC、C），应用等离子体的CVD同样也有可能在低温下析出，而且这种可能性正在进一步扩大。

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